温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种立式真空溅射镀膜生产线，其包括传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接；传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置，传送车在所述轨道上运行，通过传送车传送装片装置；镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔...
该专利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭宏大真空技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。