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本实用新型提供了一种硅片盒充气口，包括充气管道、弹簧以及外壳。所述充气管道穿过所述外壳，所述弹性元件设置于所述外壳与充气管道之间，且沿所述充气管道的轴向伸缩。根据本实用新型的另一面，还提供了一种充气装置，包括所述硅片盒充气口以及与硅片盒充气...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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