温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种应用于刷片机的晶圆缺口检查装置，包括：晶圆承载平台，用于夹持承载晶圆；驱动机构，用于驱动所述晶圆承载平台做旋转或升降运动；CCD传感器，保持于所述晶圆的周缘位置，并发出光源的光强信号检测晶圆的缺口位置，同时将接受到的光强...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。