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碳纳米管半导体器件和确定性纳米制造方法技术
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文档序号:10362080
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本发明的实施例提供了采用碳纳米管(CNT)的晶体管结构和互连结构。本发明的其它实施例提供了制造采用碳纳米管的晶体管结构和互连结构的方法。根据本发明的实施例的确定性纳米制造技术能够提供有效率的路线,用于例如随机逻辑和存储电路应用中使用的晶体管...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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