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本发明涉及一种用于在从第二基片(11)处分离第一基片(13)时保持第一基片(13)的柔性的基片支架(1),其中设置用于在第一基片(13)弯曲的情况下松开第二基片(11)的分离件(1,28)。此外,本发明涉及一种用于在分离方向(L)上从第二基...该专利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过EV集团E·索尔纳有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及一种用于在从第二基片(11)处分离第一基片(13)时保持第一基片(13)的柔性的基片支架(1),其中设置用于在第一基片(13)弯曲的情况下松开第二基片(11)的分离件(1,28)。此外,本发明涉及一种用于在分离方向(L)上从第二基...