下载一种电沉积聚酰胺酸制备低介电聚酰亚胺薄膜的方法的技术资料

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本发明公开了一种电沉积聚酰胺酸制备低介电聚酰亚胺薄膜的方法。本发明的方法主要包括以下步骤:模板制备;聚酰胺酸乳液制备;电沉积聚酰胺薄膜;去除模板,表面涂覆聚酰胺酸溶液并加热固化得到致密的聚酰胺薄膜,梯度升温亚胺化制备聚酰亚胺薄膜。本发明的方...
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