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一种电沉积聚酰胺酸制备低介电聚酰亚胺薄膜的方法技术
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文档序号:10329007
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本发明公开了一种电沉积聚酰胺酸制备低介电聚酰亚胺薄膜的方法。本发明的方法主要包括以下步骤:模板制备;聚酰胺酸乳液制备;电沉积聚酰胺薄膜;去除模板,表面涂覆聚酰胺酸溶液并加热固化得到致密的聚酰胺薄膜,梯度升温亚胺化制备聚酰亚胺薄膜。本发明的方...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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