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半导体设置及其制造方法技术
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文档序号:10319920
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本申请公开了一种半导体设置及其制造方法。一示例设置可以包括:绝缘体上半导体(SOI)衬底,包括基底衬底、埋入电介质层和SOI层;在SOI衬底上形成的背栅,所述背栅穿透埋入电介质层而与基底衬底电接触;在背栅的相对两侧由SOI层形成的鳍;以及夹...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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