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本发明提供一种全口径平面抛光中检测精度高的抛光盘表面形状的检测方法。全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法，该方法包括以下步骤：1）确定移动块运动导轨的直线度误差；2）结合抛光盘的旋转运动和移动块的直线运动测得抛光盘表面沿螺旋线分布的检测...
该专利属于成都精密光学工程研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过成都精密光学工程研究中心授权不得商用。

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