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可调谐导模共振滤光片制造技术
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下载可调谐导模共振滤光片的技术资料
文档序号:10301866
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本实用新型提供了一种可调谐导模共振滤光片,其特征在于,具有:基底层;位于基底层上的第一电极层;位于第一电极层上的波导层;位于波导层上的第二电极层和位于第二电极层上的光栅层。其中,第一电极层和第二电极层均为柔性电极,通过第一电极层和第二电极层...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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