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本发明公开了一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，该装置包括：熔接模块，用于熔接光纤与空心玻璃管；切割模块，与熔接模块固定连接，用于与成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割；第一运动模块和第二...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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