微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，该装置包括：熔接模块，用于熔接光纤与空心玻璃管；切割模块，与熔接模块固定连接，用于与成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割；第一运动模块和第二运动模块，用于带动待处理物体运动，辅助切割模块进行切割；成像模块用于精确测量待处理物体的切割端面角度，并通过采集的图像观察法珀腔的质量，监测法珀腔的几何特性；监测模块用于实时监测法珀腔的质量，监测法珀腔的光学特性。本发明专利技术解决了现有法珀腔制作的膜片连接困难、腔长难以调控和膜片减薄等技术难点，大大提高了微型光纤法珀压力传感器制作成功率，并且提高了制作工艺一致性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光纤传感器
，尤其涉及一种。
技术介绍
随着微创治疗的发展，植入式压力传感器成为监测颅内压、心内压、血压等人体内压力的重要工具，而微型光纤法珀压力传感器由于其体积微小、灵敏度高、生物兼容、抗电磁干扰等特点，相比于电学传感器而成为研究热点。近年来，出现了很多医用微型光纤法珀压力传感器的相关报道，其中全光纤的微型法珀压力传感器，尤其引起人们的关注，但其制作技术成为阻碍其发展的重大技术难点。一般法珀压力传感器的制作步骤包括:膜片制作及连接、腔长的精确控制和减薄膜片。目前在微型光纤法珀压力传感器的制作装置及制作方法方面，微机电系统技术已经较为成熟，现有公司产品也都是基于该技术，但是其制作过程非常复杂，且设备昂贵。专利US8559770B2和CN101655353A均是通过氢氟酸腐蚀光纤作为法珀腔来制作传感器，但是该制作方法制得的传感器，法珀腔端面质量不好。2013年马萨诸塞大学的Nan Wu等人报道了一种基于二氧化硅膜片的血压传感器，但是其膜片的制作和连接都较为困难；同年武汉理工大学报导了一种使用空心玻璃管作为法珀腔的颅内压传感器，但其腔长难以精确调控；利默本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，其特征在于，该制作装置包括：熔接模块，切割模块，第一运动模块、第二运动模块，成像模块和监测模块，其中：所述熔接模块用于熔接光纤与空心玻璃管；所述切割模块与所述熔接模块固定连接，用于与所述成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割；所述第一运动模块和第二运动模块用于带动待处理物体运动，辅助所述切割模块进行切割；所述成像模块用于精确测量待处理物体的切割端面角度，并通过采集的图像观察法珀腔的质量，监测法珀腔的几何特性；所述监测模块用于在制作法珀压力传感器时，实时监测法珀腔的质量，监测法珀腔的光学特性。

【技术特征摘要】
1.一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，其特征在于，该制作装置包括:熔接模块，切割模块，第一运动模块、第二运动模块，成像模块和监测模块，其中: 所述熔接模块用于熔接光纤与空心玻璃管； 所述切割模块与所述熔接模块固定连接，用于与所述成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割； 所述第一运动模块和第二运动模块用于带动待处理物体运动，辅助所述切割模块进行切割； 所述成像模块用于精确测量待处理物体的切割端面角度，并通过采集的图像观察法珀腔的质量，监测法珀腔的几何特性； 所述监测模块用于在制作法珀压力传感器时，实时监测法珀腔的质量，监测法珀腔的光学特性。2.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述切割模块2包括刀片固定装置和刀头启动装直。3.根据权利要求2所述的制作装置，其特征在于，所述刀片固定装置包括刀片、刀片夹具、锥形弹簧和连接装置，其中，所述连接装置的一端带有内螺纹，另一端通过锥形弹簧与刀片夹具相连接；所述刀片与刀片夹具紧固在一起，在不需要切割时，所述刀片固定装置通过锥形弹簧保持压缩状态。4.根据权利要求3所述的制作装置，其特征在于，所述刀头启动装置包括电机模块和与所述电机模块连接的螺钉，其中，所述电机模块通过电机带动传动齿轮，使螺钉做顺时针/逆时针转动；所述螺钉的外螺纹与所述连接装置的内螺纹配合连接；所述螺钉的末端与所述刀片夹具相接触。5.根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉婷，张文涛，李芳，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11