下载高空间分辨双轴差动共焦图谱显微成像方法与装置的技术资料

文档序号:10217487

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本发明属于光谱测量技术领域,涉及一种高空间分辨双轴差动共焦图谱成像方法与装置。本发明的核心思想是融合双轴差动共焦显微和光谱探测技术,采用分割焦斑差动探测实现几何位置的精密成像,简化了传统差动共焦显微系统的光路结构,继承了双轴显微技术的大视场...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。

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