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本实用新型提供一种具有温度测试功能的ICP刻蚀机，主要解决了现有ICP刻蚀机无法侦测铝托盘的具体温度，从而导致晶圆加工不稳定，影响蚀刻速率和选择比的问题。该具有温度测试功能的ICP刻蚀机包括铝托盘，所述铝托盘上设置有用于侦测铝托盘实时温度的...
该专利属于西安神光安瑞光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安神光安瑞光电科技有限公司授权不得商用。

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