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本文发明公开了一种TiWN硬质纳米结构薄膜及制备方法，其特征在于是该薄膜是采用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上的，薄膜分子式表示为Ti(W，N)，厚度在2-3μm。沉积时，真空度优于3.0×10-5Pa时，以氩气起弧，氮气为...
该专利属于江苏科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科技大学授权不得商用。

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