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一种三硼酸氧钙钇晶体(YCOB)高激光损伤阈值增透膜的制备方法技术
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文档序号:10162198
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本发明公开了一种非线性晶体三硼酸氧钙钇晶体表面高激光损伤阈值增透膜的制备方法。针对YCOB晶体各向异性强及增透膜的损伤机理,该方法的步骤包括YCOB基板的氢氟酸刻蚀、YCOB基板的冷加工、YCOB基板的离子束刻蚀、YCOB基板的超声波清洗、...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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