下载一种三硼酸氧钙钇晶体(YCOB)高激光损伤阈值增透膜的制备方法的技术资料

文档序号:10162198

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本发明公开了一种非线性晶体三硼酸氧钙钇晶体表面高激光损伤阈值增透膜的制备方法。针对YCOB晶体各向异性强及增透膜的损伤机理,该方法的步骤包括YCOB基板的氢氟酸刻蚀、YCOB基板的冷加工、YCOB基板的离子束刻蚀、YCOB基板的超声波清洗、...
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