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本发明涉及一种模块化过滤系统，其使用可移除过滤器卡匣来过滤包含(例如)用于半导体制造中的液体的液体。过滤系统可包含：可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件。所...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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