下载双应力异质SOI半导体结构及其制造方法的技术资料

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一种双应力异质SOI半导体结构,包括第一半导体层,第一隔离区,第二半导体层,第一应力材料区和第二应力材料区,其中:所述第一隔离区将所述第二半导体层隔离成不同的区块,并且延伸到第一半导体层,第二半导体层由第一隔离区分开的不同的区块与第一半导体...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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