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一种三明治复合结构红外热光调制器由基片、FTO透明导电薄膜层和二氧化钒薄膜层组成；制备方法：采用溶胶－凝胶法，先在两片基片上沉积一层FTO透明导电薄膜；然后在其中一片FTO透明导电薄膜上直流磁控溅射金属钒，再通过中温退火得到纳米二氧化钒薄膜...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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