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用于使层从复合结构分离的方法技术
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下载用于使层从复合结构分离的方法的技术资料
文档序号:10071377
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本发明涉及一种用于使层(115)从复合结构(125)分离的方法,该结构包括至少由在确定波长下部分透明的支承衬底(105)、将被分离的层(115)和置于支承衬底和将被分离的层之间的分离层(110)形成的复合堆叠,该方法包括通过在确定波长下的入...
该专利属于SOITEC公司所有,仅供学习研究参考,未经过SOITEC公司授权不得商用。
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