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本发明提供一种静电卡盘，包括用于承载被加工工件的卡盘和基座，在所述卡盘和基座之间设置有隔热组件，所述隔热组件包括上环板、下环板和膨胀隔热环，其中，所述上环板和所述下环板为闭合的环形结构件，并且二者相对设置；所述膨胀隔热环为闭合的环形薄壁结构...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。