移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法制造方法及图纸

基板载台装置(20)具备能移动于Y轴方向的X柱(24)、设于X柱(24)而能与该X柱(24)一起移动于Y轴方向且能相对X柱(24)移动于X轴方向的粗动载台(26)、保持基板(P)且被粗动载台(26)诱导移动于X轴及/或Y轴方向的微动载台(28)、以及分别配置于X柱(24)的+Y侧及-Y侧而从下方支承微动载台(28)的+Y侧及-Y侧区域且能与该微动载台(28)一起移动于Y轴方向的一对步进导件(30)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法
本专利技术是关于移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法，更详言的，是关于将保持物体的物体保持构件沿水平面驱动的移动体装置、包含前述移动体装置而于前述物体形成既定图案的曝光装置、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法、以及使用前述曝光装置的元件制造方法。
技术介绍
以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的光刻工艺中，是使用一边使掩膜或标线片(以下总称为“掩膜”)与玻璃板或晶片(以下总称为“基板”)沿既定扫描方向(SCAN方向)同步移动、一边使用能量束将形成于掩膜的图案转印至基板上的步进扫描方式的曝光装置。作为此种曝光装置，由于是以高速且高精度控制基板的水平面内的位置(扫描方向、交叉扫描方向、以及绕正交于水平面的轴线的方向的位置)，因此已知一种具有所谓支架(gantry)类型的2轴粗动载台与微动载台组合而成的粗微动构成的基板载台装置者(参照例如专利文献1)。随着近年基板的大型化，基板载台装置亦随之大型化，因而被期望有一种简单构成且能以高精度且高速进行大型基板的水平面内的位置控制的基板载台装置。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利技术专利申请公开第2010/0018950号。
技术实现思路
用以解决课题的手段本专利技术有鉴于上述情事而为，从第1观点观之，为一种移动体装置，其具备：第1移动体，可在沿与水平面平行的二维平面内的第1方向的位置移动；第2移动体，设于前述第1移动体，能与前述第1移动体一起在沿前述第1方向的位置移动，且能相对前述第1移动体沿在前述二维平面内与前述第1方向正交的第2方向的位置移动；物体保持构件，保持物体，被前述第2移动体诱导而沿前述二维平面移动；第1导引构件，在前述第1方向配置于前述第1移动体一侧，从下方支承在前述物体保持构件沿前述第2方向移动时该物体保持构件在前述第1方向的一侧区域，且能与前述物体保持构件一起沿前述第1方向移动；以及第2导引构件，在前述第1方向配置于前述第1移动体另一侧，从下方支承在前述物体保持构件沿前述第2方向移动时该物体保持构件在前述第1方向的另一侧区域，且能与前述物体保持构件一起沿前述第1方向移动。藉此，物体保持构件是通过第1及第2移动体沿与水平面平行的二维平面被诱导。从下方支承物体保持构件在第1方向的一侧及另一侧区域的第1及第2导引构件，由于与物体保持构件一起沿第1方向移动，因此装置的构成简单。本专利技术从第2观点观之，为一种曝光装置，其具备：本专利技术第1观点的移动体装置；以及使用能量束于保持于前述物体保持构件的前述物体形成既定图案的图案形成装置。本专利技术从第3观点观之，为一种平板显示器的制造方法，其包含：使用本专利技术第2观点的曝光装置使前述物体曝光的动作；以及使曝光后的前述物体显影的动作。本专利技术从第4观点观之，为一种元件制造方法，其包含：使用本专利技术第2观点的曝光装置的曝光装置使前述物体曝光的动作；以及使曝光后的前述物体显影的动作。附图说明图1为概略显略一实施形态的液晶曝光装置的构成的图。图2为图1的液晶曝光装置所具有的基板载台装置的俯视图。图3为图2的B-B线剖面图。附图标号说明：10液晶曝光装置11地12照明系14掩膜载台16投影光学系18基板载台架台19防振装置20基板载台装置21微动载台21a磁石单元21b线圈单元22底框23Y线性导引装置23aY线性导件23bY滑动构件24X柱25Y托架26粗动载台27Y线性导引装置27aY线性导件27bY滑动构件28微动载台29Y线性导引装置29aX线性导件29bX滑动构件30步进导件31X线性马达31a磁石单元31b线圈单元32安装板34连结装置36基板保持具38反射镜底座40xX棒反射镜40yY棒反射镜42加固块44空气轴承46aX固定子46bX可动子46xX音圈马达46yY音圈马达IL照明光M掩膜P基板具体实施方式以下，使用图1～图3说明一实施形态。图1为概略显示一实施形态的液晶曝光装置10的构成。液晶曝光装置10是用于液晶显示装置(平板显示器)等的矩形(角型)玻璃基板P(以下单称为基板P)为曝光对象物的步进扫描方式的投影曝光装置、亦即所谓扫描机。液晶曝光装置10包含照明系12、保持掩膜M的掩膜载台14、投影光学系16、基板载台架台18、保持于表面(在图1中为朝向+Z侧的面)涂布有抗蚀剂(感应剂)的基板P的基板载台装置20、以及此等的控制系等。以下的说明中，将在曝光时掩膜M与基板P相对投影光学系16分别相对扫描的方向设为X轴方向、将在水平面内与X轴正交的方向设为Y轴方向、将与X轴及Y轴正交的方向设为Z轴方向，且将绕X轴、Y轴、及Z轴的旋转方向分别设为θx、θy、及θz方向。照明系12，与例如美国专利技术专利第5,729,331号说明书等所揭示的照明系为相同构成。亦即，照明系12是将曝光用的照明光IL照射于掩膜M。照明光IL使用例如i线(波长365nm)、g线(波长436nm)、h线(波长405nm)等的光(或者上述i线、g线、h线的合成光)。掩膜载台14例如通过真空吸附保持有形成有既定电路图案的掩膜M。掩膜载台14，通过包含例如线性马达的掩膜载台驱动系(未图示)以既定行程被驱动于扫描方向(X轴方向)，且分别适当被微幅驱动于Y轴方向及θz方向。掩膜载台14在XY平面内的位置信息(包含θz方向的旋转信息)，是通过包含未图示的激光干涉仪的掩膜干涉仪系统予以求出。投影光学系16配置于掩膜载台14的下方。投影光学系16与例如美国专利技术专利第6,552,775号说明书所揭示的投影光学系为相同的构成。亦即，投影光学系16是例如包含多个以两侧远心的等倍系形成正立正像的光学系的所谓多透镜投影光学系，发挥与具有以Y轴方向为长边方向的长方形的单一像场的投影光学系同等的功能。因此，在以来自照明系12的照明光IL照明掩膜M上的照明区域后，通过通过掩膜M的照明光IL，使该照明区域内的掩膜M的电路图案的投影像经由投影光学系16形成于与基板P上的照明区域共轭的照明光IL的照射区域。接着，通过使掩膜M相对照明区域(照明光IL)移动于扫描方向，且使基板P相对曝光区域(照明光IL)移动于扫描方向，藉此于基板P上的一个照射区域转印形成于掩膜M的图案。基板载台架台18由延伸于Y轴方向的构件构成，如图2所示，于X轴方向以既定间隔设有例如两个。于例如两个基板载台架台18各自的上面，延伸于Y轴方向的Y线性导件27a于X轴方向以既定间隔固定有多个，在本实施形态中为如三支。基板载台架台18其长度方向的端部附近，如图1所示通过设置于洁净室的地11上的防振装置19从下方支承。基板载台架台18构成液晶曝光装置10的装置本体(机体)的一部分。上述掩膜载台14及投影光学系16支承于装置本体，与地11在振动上分离。此外，图1所示的基板载台装置20，相当于图2的A-A线剖面图。基板载台装置20如图2所示，具有一对底框22、架设于一对底框22上的X柱24、搭载于X柱24上的粗动载台26、通过粗动载台26以既定行程被诱导于X轴方向及/或Y轴方向的微动载台28、以及导引微动载台21沿XY平面的移动的一对步进导件30。一对底框22，一方设置于+X侧基板载台架台18的+X本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.08.30 JP 2011-1877771.一种移动体装置，其特征在于，具备：第1移动体，可在沿与水平面平行的二维平面内的第1方向的位置移动；第2移动体，设于所述第1移动体，能与所述第1移动体一起在沿所述第1方向的位置移动，且能相对所述第1移动体沿在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向的位置移动；物体保持构件，保持物体，被所述第2移动体诱导而沿所述二维平面移动；第1导引构件，在所述第1方向配置于所述第1移动体一侧，从下方支承在所述物体保持构件沿所述第2方向移动时所述物体保持构件在所述第1方向的一侧区域，且能与所述物体保持构件一起沿所述第1方向移动；第2导引构件，在所述第1方向配置于所述第1移动体另一侧，从下方支承在所述物体保持构件沿所述第2方向移动时所述物体保持构件在所述第1方向的另一侧区域，且能与所述物体保持构件一起沿所述第1方向移动；以及连结构件，将所述第1移动体与所述第1及第2导引构件物理性连结；所述第1移动体，通过所述连结构件使支承所述物体保持构件的第1及第2导引构件在所述第1方向移动。2.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，所述物体保持构件以非接触方式支承于所述第1及第2导引构件，可相对于所述第1及第2导引构件往所述第2方向移动。3.根据权利要求2所述的移动体装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：