【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种电流体动力喷墨打印系统和方法，包括基板运动模块，其包括设置在底座上的可沿第一方向平动的第一运动机构、可相对其沿垂直于第一方向的第二方向平动的第二运动机构、以及微运动平台，承载打印介质基板固定设置在其上，可在由该第一方向和第二方向定义的平面上移动，并可沿垂直于该平面的第三方向移动，从而使得承载打印介质基板可在基板运动模块作用下多自由度运动；喷印模块，其设置在一支撑架上，具有用于喷墨的喷嘴。本专利技术解决了目前喷嘴制造工艺复杂，无法打印亚微米尺寸图案，高粘度墨水无法喷出等问题，具有高分辨率、高效率、适应高粘度墨水等优点。【专利说明】
本专利技术涉及一种喷墨打印系统，特别是一种采用电流体驱动的喷墨打印系统及方法。
技术介绍
喷墨打印设备由于制造环境友好，节省打印材料，操作简单等优点，近年来被广泛应用于微电子器件制备领域。例如采用喷墨打印技术制造柔性电子晶体管、生物传感器、太阳能电池、微流芯片等方面。传统的喷墨打印技术主要采用静电连续式和按需打印，其中按需打印又包括压电式和热气泡式喷墨。传统的静电打印方法，诸如利用背景电极对墨粉进行...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄永安，布宁斌，丁亚江，陈建魁，刘慧敏，尹周平，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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