X射线管制造技术

本发明专利技术涉及一种X射线管，公开一种在平型管形态的X射线管中用以防止来自控制电极的放电的X射线管。X射线管(1)是具有：形成有窗部(3)的X射线不穿透性基板(4)；用以封闭窗部的X射线穿透窗(8)；从基板的内面侧设于窗部的X射线靶(9)；安装于基板的内面侧且内部设为高真空的容器部(5)；设于容器部内的阴极(11)；用以吸引电子的第1控制电极(12)；及用以限制电子射线的照射范围的箱型第2控制电极(14)。第2控制电极的角部(20)，是构成角部(20)的3片板材的角通过圆形加工而形成为弯曲状。借此，因为往第2控制电极的角部的电场集中而产生放电的可能性较小，而获得充分的耐电压。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种X射线管，公开一种在平型管形态的X射线管中用以防止来自控制电极的放电的X射线管。X射线管(1)是具有：形成有窗部(3)的X射线不穿透性基板(4)；用以封闭窗部的X射线穿透窗(8)；从基板的内面侧设于窗部的X射线靶(9)；安装于基板的内面侧且内部设为高真空的容器部(5)；设于容器部内的阴极(11)；用以吸引电子的第1控制电极(12)；及用以限制电子射线的照射范围的箱型第2控制电极(14)。第2控制电极的角部(20)，是构成角部(20)的3片板材的角通过圆形加工而形成为弯曲状。借此，因为往第2控制电极的角部的电场集中而产生放电的可能性较小，而获得充分的耐电压。【专利说明】X射线管
本专利技术是涉及一种在设为高真空状态的密封件(package)的内部，从电子源释放电子使其撞击X射线靶(target)，再将从X射线靶释放的X射线，从密封件的X射线穿透窗放射至外部的X射线管，尤其还涉及一种不会因为控制电极产生的放电而产生密封件损伤而使真空度降低的现象的X射线管。
技术介绍
在下述专利文献I中，已揭示一种对空气照射X射线，用以产生离子气体(iongas)的X射线产生装置。使用在该X射线产生装置的X射线管，是以圆柱状密封件(真空管(bulb))作为本体，而在密封件内，从热丝(filament)射出的电子是经由聚焦而被聚集，撞击X射线靶而产生X射线，而该X射线是穿透输出窗(X射线穿透窗)而射出至密封件的外部。图8与所述专利文献I的X射线管相同，是以玻璃制圆柱状密封件100为本体的所谓圆型管形态的X射线管的剖面图。该圆柱状密封件100，位于其一端面的圆形开口是被由铍(beryllium)所构成的膜的X射线穿透窗101所封闭，而内部则保持为高真空状态。在密封件100的内部中，于X射线穿透窗101的内面设有X射线靶102。此外，在密封件100的另一端面的侧，则设有属于电子源的阴极103与控制电极104。而且，从阴极103射出的电子是在控制电极104被加速，并经聚集而撞击X射线靶102，而得以将X射线从X射线穿透窗101放射至密封件100的外部。另外，在图8中，是以符号X示意性显示从X射线穿透窗101放射至密封件100的外部的X射线，并且以符号P来显示X射线穿透窗101中的X射线的放射的中心。专利文献1:日本特开2005-116534号公报
技术实现思路
然而，在图8所示的现有技术的X射线管中，来自阴极103的电子被缩小成射束(beam)状，是以撞击X射线靶102的位置为中心而使X射线扩展成辐射状的点状的X射线照射(图8中以符号P所示的点即为中心)，而X射线则是从X射线穿透窗101射出后扩展成圆锥状(在图8中以符号X显示)，因此会有相对于照射对象物的大小，有效照射范围(area)狭小的问题。因此，若要使用照射范围狭小的圆型管X射线管使X射线照射至宽广的范围，就要使用多个X射线管，并将其予以并排使用，故在设备成本或在维修方面有极大负担。此外，若要使X射线照射至宽广范围，虽也可考虑远离对象物来照射X射线，但若要照射所希望的X射线至照射对象物，就需加强X射线的照射强度。如此一来，甚至将X射线照射至不需要的部位，而产生X射线泄漏的问题。因此，本案专利技术的专利技术人等，为了解决此种现有技术的圆型管形态的X射线的问题，专利技术了图9及图10所示的平型管形态的X射线管。该X射线管是以箱形密封件55作为本体，该箱形密封件55是由将I片玻璃制背面板61与4片侧面板62组装成箱型而成的容器部51、及在该容器部51的开放侧周缘部由X射线不穿透性的金属所构成的基板53所构成。在成为该密封件55的X射线放射侧的基板53中，是形成有细缝(siit)状的开口部52 (例如宽度2mm左右)，而在该开口部52，则自基板53的外侧安装有由钛(titanium)箔所构成的X射线穿透窗54。密封件55的内部是保持为高真空状态。在密封件55内，是于显现在基板53的开口部52的X射线穿透窗54中设有钨(tungsten)等的X射线靶56。此外，在密封件55的内部，是于与X射线穿透窗54相反侧的内面设有背面电极57，而在该背面电极57下方则依序配设有热丝状的阴极58、从阴极58吸引电子的第I控制电极59、及将第I控制电极59所吸引的电子进行加速的第2控制电极60。依据该X射线管，从阴极58被第I控制电极59所吸引的电子是通过第2控制电极60加速。而且，经与X射线靶56撞击所产生的X射线，是穿透X射线穿透窗54而放射至密封件55的外部。由于X射线是从被基板53的开口部52所限制的X射线穿透窗54放射，因此只要将开口部52的细长细缝形状的尺寸设定为所希望的大小，就可使放射X射线的区域实质为线状而以X射线穿透窗54的细缝宽度使X射线扩展。因此，可与对象物大小对应而易于以较高弹性来设定有效宽广的照射范围，而可获得照射范围狭小的圆型管的X射线管所未具的效果。而且，只要将开口部52的尺寸、形状形成为所希望大小的矩形沟状等，在X射线穿透窗54中接受X射线放射的区域，相较于圆形的X射线穿透窗，就较容易从外形判断，因此也有较容易设定将X射线精密地引导至既定位置的路径的优点。依据图9及图10所示所述的平型管形态的X射线管，密封件55是长方体状。此夕卜，在该密封件55内，配置于与基板53相对的背面板61上方的第2控制电极60,是图9及图11所示的大致长方体状，且成为矩形的板状构件60a的四方，被相对于该四方呈直角配置的4片板状构件60b所包围的箱型构造。而且，本案专利技术的专利技术人等在开发此种的平型管形态的X射线的过程中，发现有可能会产生在密封件55内撞击X射线靶56而反射的电子在密封件55的内面带电，而使阴极58的电位不安定化的麻烦的现象。因此，本案专利技术的专利技术人等特别为了防止电子在与基板53相对的背面板61的内面带电，检讨了尽可能地将第2控制电极60的尺寸增大，且以尽量宽广的范围将与基板53相对的背面板61的内面予以覆盖来作为解决手段。然而，当长方体的第2控制电极60设为接近长方体状的密封件55的内面的尺寸时，长方体状的第2控制电极60的角部与密封件55的内面的距离即成为极接近的状态。在对于X射线靶56施加数kV左右电压而进行X射线的放射时，是对于基板53的整体施加数kV的电压。密封件55的容器部51虽由绝缘性材料所构成，但会受到被施加数kV电压的基板53的电位的影响，因此如上所述，若是在密封件55的内面与第2控制电极60的角部接近的状态下，于第2控制电极60与基板53之间，将如图12所示成为易于引起放电E的状态。因此，根据密封件55及第2控制电极60的组装精确度的结果，或施加于X射线靶56的电压被设定为更高的情形下，该X射线管的耐电压性能均有可能变得不充分。图13是现有技术构造的平型管形态的X射线管的一例，其中将横轴取为X射线靶电压Eb 、纵轴取为放电电流，且显示X射线靶的电流TI及第2控制电流的电流GI，而将该装置的耐电压特性予以显示作为一例的曲线图。从该图13可得知，在现有技术构造的平型管形态的X射线管中，当X射线靶电压Eb达到6至8时即开始放电，且在X射线靶56与第2控制电极60流通相等且方向相反的放电电流。如此,例如图12所不从第2控制电极60的角部产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线管，具备：形成有窗部的X射线不穿透性基板；设置成从所述基板的外面侧封闭所述窗部的X射线穿透窗；从所述基板的内面侧设置于所述窗部的X射线靶；安装于所述基板的内面侧且内部设为高真空状态的容器部；设于所述容器部的内部而用以将电子供给至所述X射线靶的电子源；在所述容器部的内部且配置于所述电子源与所述X射线靶之间而用以从所述电子源吸引电子的第1控制电极；在所述容器部的内部且配置成覆盖所述电子源与所述第1控制电极而用以限制电子射线的照射范围的箱型第2控制电极；将所述第2控制电极的角部形成为弯曲状。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松本晃，出口清之，佐藤义孝，中村和仁，
申请(专利权)人：双叶电子工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP