电容式压力传感器制造技术

本公开提供了一种电容式压力传感器，包括：电介质层；第一电极，设置在电介质层的第一表面上并被施加压力；第二电极，设置在电介质层的与第一表面相对的第二表面上，并包括多个具有预定形状的单位电极；以及测量装置，被配置为通过在第一电极和第二电极之间产生电位差来针对每个单位电极检测电介质层的电容的测量值。单位电极的电极面积使用实际测量数据并使用测量值的变化量的最小值来确定，其中，实际测量数据表示当对第一电极施加压力时由测量装置针对每个单位电极检测的测量值的变化量与单位电极的电极面积之间的关系，测量值的变化量的最小值通过包括由测量装置针对每个单位电极检测的压力的检测步数在内的条件来确定。来确定。来确定。

【技术实现步骤摘要】
电容式压力传感器


[0001]本公开涉及一种电容式压力传感器，该电容式压力传感器具有如下结构，其中电介质层嵌入在两个电极之间，并被配置为根据因施加到其中一个电极的压力而变形的电介质层的介电常数的变化来检测压力。更具体地，涉及一种电容式压力传感器，能够实现平面内位置和对应位置压力的高精度检测。

技术介绍

[0002]日本专利公开号2015
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7562公开了一种电容式传感器的专利技术。此专利技术的电容式传感器包括：电介质层30；传感器单元S，具有设置在电介质层30正面的正面电极部分32X和设置在电介质层30背面的背面电极部分33Y；以及控制装置22，其电连接到传感器单元S以向传感器单元S施加电压并测量与传感器单元S的电容相关的电量。根据电容式传感器1，具有半独立气泡结构的泡沫被用于电介质层30，因此负载检测范围广并且电介质层不易塌陷。
[0003]国际公开号WO 2017/057598公开了一种电容式传感器的专利技术。此专利技术的电容式传感器包括：电介质层20，由弹性体制成；以及一对电极单元30、40，分别具有电极层01X本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电容式压力传感器，包括：电介质层；第一电极，设置在所述电介质层的第一表面上并被施加压力；第二电极，设置在所述电介质层的与所述第一表面相对的第二表面上，并包括多个具有预定形状的单位电极；以及测量装置，被配置为通过在所述第一电极和所述第二电极之间产生电位差来针对每个单位电极检测所述电介质层的电容的测量值；其中，所述单位电极的电极面积使用实际测量数据并使用所述测量值的变化量的最小值来确定，所述实际测量数据表示当对所述第一电极施加压力时由所述测量装置针对每个单位电极检测的所述测量值的变化量...

【专利技术属性】
技术研发人员：井出聡史，田口雄飞，
申请(专利权)人：双叶电子工业株式会社，
类型：发明
国别省市：