【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种新型硅片收集装置包括收集槽,所述收集槽呈凹形结构;其中所述收集槽两侧分别设有一块挡板,所述挡板为可折叠式的挡板;所述挡板打开时与收集槽形成长方形结构;所述收集槽上设有多个通风口,可以对硅片进行缓冲,更加保证了不会对硅片表面造成损伤。所述挡板与收集槽连接处还设有一定时装置,所述挡板上还设有一连接件,用来连接挡板与定时装置。工作时,通过设定挡板的定时装置中的时间,通过连接件控制挡板,从而实现挡板的折叠。当硅片下落时可以就可以先落在收集槽的挡板上,从而减少落地高度,从而减少对硅片表面造成损伤。【专利说明】一种新型硅片收集装置
本专利技术涉及一种收集装置,具体涉及一种新型硅片收集装置。
技术介绍
硅片加工过程中,为了保证硅片的设计要求,要求硅片进行切割。切割后的硅片通过收集装置进行收集。目前,收集装置包括收集槽,在收集过程中,由于硅片下落时会对硅片表面造成损伤,从而影响硅片的加工质量。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对以上弊端提供一种新型硅片收集装置,本装置结构简单,且不会对硅片表面造成损伤。为解决上述技术问题,本专利 ...
【技术保护点】
一种新型硅片收集装置包括收集槽,所述收集槽呈凹形结构;其中所述收集槽两侧分别设有一块挡板,所述挡板为可折叠式的挡板,所述挡板打开时与收集槽形成长方形结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:聂金根,
申请(专利权)人:镇江市港南电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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