下载一种新型硅片收集装置的技术资料

文档序号:9899230

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本发明涉及一种新型硅片收集装置包括收集槽,所述收集槽呈凹形结构;其中所述收集槽两侧分别设有一块挡板,所述挡板为可折叠式的挡板;所述挡板打开时与收集槽形成长方形结构;所述收集槽上设有多个通风口,可以对硅片进行缓冲,更加保证了不会对硅片表面造成...
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