一种X射线碘化铯闪烁屏衬底的清洁方法技术

技术编号:9898526 阅读:161 留言:0更新日期:2014-04-10 04:39
本发明专利技术公开了一种X射线碘化铯闪烁屏衬底的清洁方法,具体步骤包括:先用洗涤剂把衬底先清洗,然后再用离子水冲干净;将浓硫酸:双氧水按2:1的比例混合配置;将第一次冲洗好的衬底放到piranha溶液里侵泡;将浸泡好的衬底取出,用大量去离子水冲干净;将第二次冲洗好的衬底用酒精冲洗,最后用氮气吹干。通过上述方式,本发明专利技术一种X射线碘化铯闪烁屏衬底的清洁方法可以将衬底彻底的清洗干净,使得溅射后薄膜与衬底具有足够的结合力。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种X射线碘化铯闪烁屏衬底的清洁方法,其特征在于,具体步骤包括:?第一次冲洗衬底:先用洗涤剂把衬底先清洗,然后再用离子水冲干净;配置piranha溶液:将浓硫酸:双氧水按2:1的比例混合配置;浸泡衬底:将第一次冲洗好的衬底放到piranha溶液里侵泡;第二次冲洗衬底;将浸泡好的衬底取出,用大量去离子水冲干净;吹干衬底:将第二次冲洗好的衬底用酒精冲洗,最后用氮气吹干。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:范波
申请(专利权)人:江苏龙信电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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