【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术属于热电堆红外气体探测器的
，具体涉及一种，解决了传统热电堆红外探测器热电转化率低和释放过程中悬浮结构易损坏等问题。其包括SOI衬底、热偶条、SiO2介质层、金属连接和焊盘、SiO2隔离层以及吸收层，N/P多晶硅热偶条的冷端支撑于SOI衬底，吸收层悬浮设置于探测器的顶部。本专利技术利用复合纳米薄膜对近红外波段较强的吸收率，并且将吸收层悬浮于器件上方，提高了器件单元占空比，相应地提高探测器的响应率和探测率，进而优化探测器的性能指标。【专利说明】
本专利技术属于热电堆红外气体探测器的
，具体涉及一种。
技术介绍
自1800年W.herschel发现红外福射至今,红外探测技术被广泛地应用于夜视仪、红外制导、热像仪等军事领域，也被应用于气体检测、公共安全、红外测温等民用领域。热电堆红外探测器的工作原理是基于塞贝克效应，即两种不同材料A和B有公共连接端作为热端，另一端不相连作为冷端，当热端受热时，在A和B组成的回路中产生电势使热能转变为电能。该电势差取决于金属的电子逸出功和有效电子密度这两个因素，半导体材料的温差电势较大，可...
【技术保护点】
一种复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器，包括SOI衬底（1）、热偶条（4）、SiO2介质层（3）、金属连接和焊盘（7）、SiO2隔离层（6）以及吸收层，其特征在于N/P多晶硅热偶条的冷端支撑于SOI衬底（1），吸收层悬浮设置于探测器的顶部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谭秋林，陈媛婧，熊继军，薛晨阳，张文栋，刘俊，毛海央，明安杰，欧文，陈大鹏，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西;14
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