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本发明属于热电堆红外气体探测器的技术领域，具体涉及一种复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法，解决了传统热电堆红外探测器热电转化率低和释放过程中悬浮结构易损坏等问题。其包括SOI衬底、热偶条、SiO2介质层、金属连接和焊盘...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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