一种加速度计及其制造工艺制造技术

技术编号:9831405 阅读:102 留言:0更新日期:2014-04-01 20:22
一种加速度计,包括:测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片;所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块;所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接,每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置;所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种加速度计,包括:测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片;所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块;其特征在于,所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接,每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:俞度立于连忠杨长春
申请(专利权)人:中国科学院地质与地球物理研究所
类型:发明
国别省市:北京;11

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