【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种加速度计,包括:测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片;所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块;其特征在于,所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接,每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:俞度立,于连忠,杨长春,
申请(专利权)人:中国科学院地质与地球物理研究所,
类型:发明
国别省市:北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。