废液处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种废液处理装置，用于去除废液中的气体，包括：处理塔、喷液单元、气吹单元、排液单元以及液位测量单元；其中，所述喷液单元设置在所述处理塔的顶部，所述气吹单元与所述处理塔的侧壁相连；所述排液单元与所述处理塔的底部相连；所述液位测量单元包括一挡板，所述挡板设置在所述处理塔的内底部，并与所述处理塔的内底部保持第一距离，与所述处理塔的侧壁保持第二距离；使用挡板挡住处理塔内废液的大幅波动，使液位测量单元能够稳定准确的测量出废液的液位，从而能够避免液位大幅波动对废液处理装置造成的危害。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
废液处理装置
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种废液处理装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，通常需要很多化学气体和液体参与反应。在反应结束之后，废气与废液均需要经过处理方可排出，以避免污染环境等。当废液中含有大量的氨气时，通常需要对废液进行去氨处理，直至氨的含量降低至规定标准方可排出废液。图1为现有技术中用于去除废液中氨的去氨装置的结构示意图，所述去氨装置包括:处理塔10、废液管21、喷液头22、过滤单元30、进气管41、出气管42、排液管60、排液泵61以及液位测量单元；所述液位测量单元包括测量桶槽52以及液位测量计51，所述液位测量计51设置在所述测量桶槽52内部，用于测量废液的液位；其中，所述测量桶槽52与所述处理塔10的底端一侧壁连通，所述排液管60与所述处理塔10的底端另一侧壁连通，所述排液泵61设置在所述排液管60中，用于泵出废液；所述进气管41与所述出气管42分别与所述处理塔10的两侧壁连接，所述进气管41用于输入空气，所述排气管42用于排出空气；所述过滤单元30设置在所述处理塔10的内部，并高于所述进气管41的位置；所述废液管21与所述喷液头22连接，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废液处理装置，用于去除废液中的气体，其特征在于，所述装置包括：处理塔、喷液单元、气吹单元、排液单元以及液位测量单元；其中，所述喷液单元设置在所述处理塔的顶部，所述气吹单元与所述处理塔的侧壁相连；所述排液单元与所述处理塔的底部相连；所述液位测量单元包括一挡板，所述挡板设置在所述处理塔的内底部，并与所述处理塔的内底部保持第一距离，与所述处理塔的侧壁保持第二距离。

【技术特征摘要】
1.一种废液处理装置，用于去除废液中的气体，其特征在于，所述装置包括: 处理塔、喷液单元、气吹单元、排液单元以及液位测量单元；其中，所述喷液单元设置在所述处理塔的顶部，所述气吹单元与所述处理塔的侧壁相连；所述排液单元与所述处理塔的底部相连；所述液位测量单元包括一挡板，所述挡板设置在所述处理塔的内底部，并与所述处理塔的内底部保持第一距离，与所述处理塔的侧壁保持第二距离。2.如权利要求1所述的废液处理装置，其特征在于，所述液位测量单元包括测量桶槽以及液位测量计，所述测量桶槽与所述处理塔底部相连通，所述液位测量计设置于所述测量桶槽内部。3.如权利要求2所述的废液处理装置，其特征在于，所述挡板包括竖向挡板和横向挡板，所述竖向挡板与所述横向挡板相连。4.如权利要求3所述的废液处理装置，其特征在于，所述竖向挡板为实体板，垂直于水平面放置入废液中。5.如权利要求4所述的废液处理装置，其特征在于，所述竖向挡板与所述处理塔的内底部保持第一距离的范围是IOcm?20cm。6.如权利要求4所述的废液处理装置，其特征在于，所述竖向挡板与所述测量桶槽和处理塔底部相连通的侧壁保持第二距离范围是所述处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：田爽，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：