温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提出一种废液处理装置,用于去除废液中的气体,包括:处理塔、喷液单元、气吹单元、排液单元以及液位测量单元;其中,所述喷液单元设置在所述处理塔的顶部,所述气吹单元与所述处理塔的侧壁相连;所述排液单元与所述处理塔的底部相连;所述液位测量...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提出一种废液处理装置,用于去除废液中的气体,包括:处理塔、喷液单元、气吹单元、排液单元以及液位测量单元;其中,所述喷液单元设置在所述处理塔的顶部,所述气吹单元与所述处理塔的侧壁相连;所述排液单元与所述处理塔的底部相连;所述液位测量...