一种真空系统及一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置制造方法及图纸

一种真空系统及一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置，通过在分子泵和真空蝶阀之间设置有过滤保护装置，可拦截因各种原因意外进来的大颗粒，防止分子泵突然卡死，显著降低分子泵的故障率，通过在所述过滤保护装置上设置有冷却水管路，作为反应腔的真空腔室，一般都是高温状态的，所以产生的残余微颗粒也是高温的，当高温的微颗粒通过带冷却水的过滤保护装置时，由于温差以及过滤网本身的过滤，大部分的微颗粒都会被滤装置的过滤网过滤，凝结。这样，在经过过滤保护装置后，只有极少量的微颗粒进入到分子泵里，最终起到保护分子泵的功能，同时在分子泵里面累积的颗粒也大大减少，停机保养分子泵的周期就可以大幅延长，节省保养经费。

【技术实现步骤摘要】
一种真空系统及一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置
本专利技术涉及一种器具保护技术。具体地说涉及一种带过滤保护装置的真空系统及一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置。
技术介绍
随着太阳能光伏产业的不断发展，应用在半导体行业的真空系统数量越来越多，比如常见的PECVD (等离子体增强化学气相沉积法)设备，溅射设备都是真空的设备。在真空环境下，可以形成压力超低，几乎没有干扰杂质的工艺环境，为产品工艺在真空系统中顺利进行提供了基本保障。随着产品工艺的不断发展，对真空系统的要求也越来越高，对真空压力的要求也普遍很高，如今已经在真空系统中采用提供更高真空压力的分子泵。分子泵之所以可以提供更高的真空压力，是因为其内部用于排挤空气的转子缝隙更小，转速更快，由于分子泵的这种结构设计，它很容易被由于各种原因抽进来的大颗粒卡死，所以就需要对分子泵采用更加合理或更好的保护措施。关于分子泵的保护措施，目前真空系统中普遍采用的办法是对真空腔室进行改进:在真空腔室中设置了一个颗粒过滤网，过滤进入真空腔室的气体，并结合对分子泵进行软件上的Interlock (互锁)设置，通过干泵把设备真空抽到一定压力数值之后本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空系统，包括：真空腔室，通过真空管路与真空蝶阀相连；真空蝶阀，通过真空管路与分子泵相连；其特征在于，还包括设置在所述真空腔室和所述分子泵之间的至少一个过滤保护装置。

【技术特征摘要】
1.一种真空系统，包括: 真空腔室，通过真空管路与真空蝶阀相连； 真空蝶阀，通过真空管路与分子泵相连； 其特征在于，还包括设置在所述真空腔室和所述分子泵之间的至少一个过滤保护装置。2.根据权利要求1所述的一种真空系统，其特征在于，所述过滤保护装置通过真空管路连接在所述真空腔室和所述真空蝶阀之间，所述过滤保护装置上设置有冷却水管路。3.根据权利要求2所述的一种真空系统，其特征在于，所述冷却水管路在所述过滤保护装置的正面环绕所述过滤保护装置设置，且所述过滤保护装置的正面朝向所述真空蝶阀设置。4.根据权利要求2或3所述的一种真空系统，其特征在于，所述冷却水管路中充有压力为60MPA的工艺冷却水。5.根据权利要求2-4任一所述的一种真空系统，其特征在于，所述过滤保护装置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁建，贾海军，沈奇奇，刘洋，邹勇军，季京辉，
申请(专利权)人：北京汉能创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：