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一种真空系统及一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置，通过在分子泵和真空蝶阀之间设置有过滤保护装置，可拦截因各种原因意外进来的大颗粒，防止分子泵突然卡死，显著降低分子泵的故障率，通过在所述过滤保护装置上设置有冷却水管路，作为反应腔的真空腔室，一...
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