TE偏振的石英1×2分束斜光栅制造技术

一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅，该分束光栅的光栅周期为798～802纳米，倾斜角为14～16度，脊深为755～759纳米，占空比为0.5。当TE偏振光在一级布拉格角入射（23.41度）时，其透射光将分成等强度的2束光，这2束光总的衍射效率大于98%，并且其均匀性优于3%。本发明专利技术TE偏振倾斜石英1×2分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。

【技术实现步骤摘要】
TE偏振的石英1 X 2分束斜光栅
本专利技术涉及透射分束光栅，特别是一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1X2分束斜光栅。
技术介绍
分束器是光学系统中的基本元件，在光学系统中有着重要的应用。在光通信、光信息处理、光计算、全息等等系统中有着不可替代的作用。由于传统的多层膜结构分束器工艺复杂，成本昂贵，而且激光破坏阈值不高，因此限制多层膜结构的广泛应用。熔融石英是一种理想的光栅材料，它具有高光学质量:稳定的性能、高损伤阈值并且由熔融石英设计制作高效率分束光栅，结构简单，工艺流程简单。因此，刻蚀高密度深刻蚀熔融石英光栅作为新型的分束器件具有广泛的应用前景。对于倾斜石英光栅，由于其布拉格角可以随着倾斜角的变化而变化，可以根据实际的光学系统来设计所需的倾斜角，这样可以使倾斜光栅更方便的应用在光学系统中。Jijun Feng等人设计了一种光垂直入射下的高效率透射式矩形石英偏振无关1X3分束光栅，其TE与TM波透射效率均高于97%【在先技术I J.Feng et al.,Appl.0pt.47，6638-6643(2008)】。以上光栅都是基于矩形结构，倾斜光栅不仅可以增加设计的灵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅，其特征在于该分束光栅的光栅周期为798～802纳米，倾斜角为14～16度，脊深为755～759纳米，占空比为0.5。

【技术特征摘要】
1.一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1X2分束斜光栅,其特征在于该分束光栅的光栅周期为798?802纳米，倾斜角为14?16度，脊深为755?759纳米，占空...

【专利技术属性】
技术研发人员：周常河，李树斌，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：