微动台及气浮轴承制造技术
【技术实现步骤摘要】
微动台及气浮轴承
本专利技术涉及光刻工艺，尤其涉及一种微动台及气浮轴承。
技术介绍
光刻机微动台主要是携带硅片或玻璃基板进行Z、θx、θy、θz微行程运动，并进行精确定位，从而实现对硅片或玻璃基板的实时调焦、调平功能。为了达到高定位精度，微动台采用气浮轴承进行硅片或玻璃基片的支撑、导向。现有技术中微动台的气浮轴承，采用的是一维转动柔性件作为气浮导向，同时气流须经柔性件进入柔性件与圆环定子之间的间隙，形成气膜，气膜厚度不可调节，无法补偿制造、安装误差，并且这种气浮轴承只在径向具有一维转动柔性，无法满足四自由度的精确定位，而且由于气流通道经过不同的柔性件，因此会造成各个柔性件灵敏度的差异。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种微动台及气浮轴承，以支撑硅片或玻璃基片，并对其运动进行导向。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种气浮轴承，其设置于微动台的底座与微动板之间，所述微动板能够做Z、θx、θy、θz向微行程运动，所述气浮轴承包括轴承定轴和若干瓦块装置，所述轴承定轴固定设置于所述底座上，所述微动板上设有一开口，所述轴承定轴远离所述底座的一端穿过所述开口，所述若干瓦块装...
【技术保护点】
一种气浮轴承，其设置于微动台的底座与微动板之间，所述微动板能够做Z、θx、θy、θz向微行程运动，其特征在于，包括轴承定轴和若干瓦块装置，所述轴承定轴固定设置于所述底座上，所述微动板上设有一开口，所述轴承定轴远离所述底座的一端穿过所述开口，所述若干瓦块装置周设于所述轴承定轴的外圆周外侧，所述若干瓦块装置均与所述微动板连接，所述气浮轴承产生的气膜的方向及厚度随所述微动板位置的改变而改变。
【技术特征摘要】
1.一种气浮轴承，其设置于微动台的底座与微动板之间，所述微动板能够做Z、θx、θy、θz向微行程运动，其特征在于，包括轴承定轴和若干瓦块装置，所述轴承定轴固定设置于所述底座上，所述微动板上设有一开口，所述轴承定轴远离所述底座的一端穿过所述开口，所述若干瓦块装置周设于所述轴承定轴的外圆周外侧，所述若干瓦块装置均与所述微动板连接，所述瓦块装置能够随所述微动台一起运动，使得所述气浮轴承产生的气膜的方向及厚度随所述微动板位置的改变而改变；所述若干瓦块装置均包括瓦块、第一接头、支座、螺杆和固定座，所述瓦块靠近所述轴承定轴那一面的形状与所述轴承定轴的形状相匹配，所述第一接头设置于所述瓦块上，所述瓦块的远离轴承定轴的那一面与所述支座连接，所述螺杆穿设于所述支座中并与所述支座通过螺纹连接，所述固定座将所述螺杆固定于所述微动板上，所述螺杆在所述固定座上绕其自身的中心轴旋转带动所述瓦块沿所述中心轴方向移动，达到所述瓦块与轴承定轴之间所需的间隙后，将所述支座连接至所述微动板上。2.根据权利要求1所述气浮轴承，其特征在于，所述瓦块装置还包括锁紧螺钉，所述锁紧螺钉设置于所述支座中，用于阻止所述螺杆旋转。3.根据权利要求1所述气浮轴承，其特征在于，所述瓦块装置还包括铰链，所述瓦块通过所述铰链与所述支座连接。4.根据权利要求3所述气浮轴承，其特征在于，所述铰链为柔性铰链。5.根据权利要求1所述气浮轴承，其特征在于，所述支座通过螺丝连接于所述微动板上，所述支座上设有腰型孔，所述螺丝置于所述腰型孔内，所述螺丝能够在所述腰型孔内移动。6.一种气浮轴承，其设置于微动台的底座与微动板之间，所述微动板能够做Z、θx、θy、θz向微行程运动，其特征在于，包括轴承定轴和若干瓦块装置，所述轴承定轴固定设置于所述底座上，所述微动板上设有一开口，所述轴承定轴远离所述底座的一端穿过所述开口，所述若干瓦块装置周设于所述轴承定轴的外圆周外侧，所述若干瓦块装置均与所述微动板连接，所述瓦块装置能够随所述微动台一起运动，使得所述气浮轴承产生的气膜的方向及厚度随所述微动板位置的改变而改变；所述若干瓦块装置均包括瓦块、第一接头、支座、固定块和螺杆，所述瓦块靠近所述轴承定轴的那一面的形状与...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄静莉，秦磊，朱岳彬，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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