板材平坦度矫正设备及其操作方法技术

本发明专利技术提供了一种板材平坦度矫正设备及其操作方法。本发明专利技术所提供的板材平坦度矫正设备包括：液压控制系统；矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面；上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间；施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压。本发明专利技术所提供的矫正设备可多点支撑固定、多点施压。各施压点压力可同时调节，也可每个施压点单独调节，因而可防止在同时下压过程中造成的被矫正板材过度承压受损的问题，也可以防止由于承压不均受损的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液压。
技术介绍
通常靶材组合是由符合溅射性能的靶材和具有一定强度的背板构成。靶材自身体积较大，且容易变形破碎，为了能使靶材很好地固定在设备上，通常将靶材焊接到背板后再安装到设备上。背板起到支撑固定作用，并具有传导热量的功效。在溅射过程中，靶材组合通常在200° C至500° C的温度条件下工作。工作时，靶材组合的一侧充以冷却水强冷，而另一侧则处于KT9Pa的高真空环境下，因而靶材组合两侧存在巨大的压力差。在如此恶劣的工作环境下，背板易发生变形。另外，在反复使用过程，由于不正确的操作、移动和材质老化等原因，也会导致背板变形。如果将背板变形的靶材组合安装到设备上，使用中就可能导致靶材脱离背板，造成机台内异常放电，微尘数量超标等问题，严重的造成产品和设备的报废。因而，在焊接之前对靶材组合的背板进行矫正是十分必要的。虽然现在国内外靶材组合加工厂商大部分都有背板矫正用的油压设备，但由于这些油压设备仅仅采用单柱下压方式，基本上只能对中小型靶材组合(面积500mmX 500mm以下)所使用的背板进行矫正。目前液晶显示面板市场上32英寸、42英寸和50英寸等大型液晶显示面板逐渐成为消费主流。液晶显示面板尺寸的增大要求液晶显示面板制作过程中用到的靶材组合的尺寸相应的增大，因而要求背板的尺寸也增大。大尺寸的背板在使用过程中会发生各种复杂的变形，例如鼓起、扭曲等变形。为了将靶材组合良好的固定在设备上，对靶材背板的平坦度要求也越来越高。利用现有矫正设备对大型背板(面积在500mmX 500mm以上)进行矫正，矫正后平坦度仅能达到1.0mm以上，而大型背板对平坦度要求是在0.5mm以下，现有矫正设备不能满足大型背板平坦度所需要求。同时，现有设备施压位置不可调整，使用现有设备和技术对靶材组合的背板进行矫正时，需要频繁的移动背板的位置，而大型背板的自重较大(100kg以上)，在移动过程中存在人员安全隐患，同时存在对背板表面造成划伤，碰伤等危险。
技术实现思路
有鉴于此，专利技术人提供一种矫正设备，以解决现有技术无法矫正大型靶材组合背板，无法矫正靶材背板复杂变形的问题。本专利技术提供一种板材平坦度矫正设备，其特征在于，包括:液压控制系统；矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面；上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间；施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压。可选的，所述第一施压柱和所述第二施压柱都包括有细段和粗段，所述细段和所述粗段以密封、可滑动的方式套合，并且所述细段和所述粗段内部中空连接形成体积可变的腔体以便液体压入和抽出；所述细段侧部带有侧壁导管；所述侧壁导管连接至所述液压控制系统。可选的，所述上板设置有位于其内部边缘的三根固定横梁和连接于所述固定横梁之间的一根滑动横梁；三根所述第一施压柱通过滑动装置各自与一根所述固定横梁连接，使得所述第一施压柱可沿其所连接的所述固定横梁的轴向运动；所述第二施压柱通过滑动装置与所述滑动横梁连接，使得所述第二施压柱既能够沿所述滑动横梁的轴向运动，又能够随所述滑动横梁的滑动方向运动。可选的，所述上板通过多个立柱与所述矫正台固定连接。可选的，所述多个立柱分散设置在所述矫正台的边角区域。可选的,所述矫正面通过所述矫正空间的侧面暴露在外，所述矫正空间的侧面为连接所述矫正台与所述上板的侧面。可选的，所述矫正台固定于底座上。可选的，所述第一施压柱和所述第二施压柱的所述细段和所述粗段的外形为圆柱形或者四方柱形。可选的，所述上板内部边缘还有一根固定横梁，该固定横梁与另外三根所述固定横梁首尾相连形成稳定架构。本专利技术还提供了一种如上所述的板材平坦度矫正设备的操作方法，其特征在于，包括:将被矫正板材放置于所述矫正面；移动至少一根所述施压柱，使其位于所述被矫正板材上方合适位置，控制所述液压控制系统使该至少一根施压柱下压，固定所述被矫正板材；移动至少一根未用于固定所述被矫正板材的所述施压柱，使其位于所述被矫正板材变形部位上方，控制所述液压控制系统使该至少一根未用于固定所述被矫正板材的施压柱的粗段下压，对被矫正板材变形部位进行施压矫正。可选的，在将所述被矫正板材放置于所述矫正面之前，将各所述施压柱移动至合适位置并收缩至离所述矫正面合适高度，以保证所述被矫正板材能够放置于所述矫正面。可选的，通过所述矫正空间各侧中没有所述第一施压柱的一侧放置入被矫正板材。可选的，将所述被矫正板材放置于所述矫正面之时，所述被矫正板材变形部位尽可能靠近矫正面中心部位。可选的，所述施压矫正时，采取多次短促施压的施压矫正方式。可选的，各所述施压柱独立地调节移动位置和下压压力。可选的，在对被矫正板材变形部位进行施压矫正之后，检测被矫正的所述被矫正板材平坦度是否满足要求，若不满足要求则再次进行施压矫正。可选的，对于面积为500mmX 500mm以上的靶材组合的背板，其平坦度在0.5mm以下为满足要求。可选的，在将所述被矫正板材放置于所述矫正面之前，进行矫正面的检测:若所述矫正面变形不严重但需要矫正处理时，在不拆卸的情况下用抛光设备对所述矫正面进行表面抛光矫正；若所述矫正面变形较严重，拆卸下所述矫正台后，对所述矫正台进行铣平矫正。可选的，使用龙马铣床对所述矫正台进行铣平矫正。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点:1.本专利技术所提供的矫正设备由于具有第一施压柱和第二施压柱，因而可多点支撑固定、多点施压。各施压点压力可同时调节，也可每个施压点单独调节，因而可防止在同时下压过程中造成的被矫正板材过度承压受损的问题，也可以防止由于承压不均受损的问题。2.本专利技术所提供的矫正设备第二施压柱可以移动，在矫正中不需要移动被矫正板材，克服了矫正过程中被矫正板材移动困难的问题，大大的提高了人员及被矫正板材的安全系数。同时，由于第二施压柱可以移动，本专利技术所提供的矫正设备能够应对不同位置的各种变形进行矫正，对被矫正板材变形的具体位置有针对性的进行矫正，有效解决了现有设备矫正效果差，无法矫正大型靶材组合背板，无法矫正复杂变形的问题。3.本专利技术所提供的矫正设备中各施压柱可以移动，因而在矫正过程中不需要移动被矫正板材，因而可单人独立作业，作业效率高，操作安全，返修率少。【附图说明】图1为本专利技术实施例所提供的矫正设备的示意图；图2为本专利技术实施例所提供的矫正设备的上板与施压柱的连接示意图；图3为本专利技术实施例所提供的矫正设备的操作方法的流程示意图；图4为为本专利技术实施例所提供的矫正设备矫正背板的示意图。110-底座120-矫正台121-矫正面130-立柱140-上板150-第一施压柱151-第一施压柱细段152-第一施压柱粗段160-第二施压柱161-第二施压柱细段162-第二施压柱粗段170-侧壁导管210-固定横梁220-滑动横梁230-滑动装置310-铜背板【具体实施方式】为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板材平坦度矫正设备，其特征在于，包括：液压控制系统；矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面；上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间；施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压。

【技术特征摘要】
1.一种板材平坦度矫正设备，其特征在于，包括: 液压控制系统； 矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面； 上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间； 施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压。2.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一施压柱和所述第二施压柱都包括有细段和粗段，所述细段和所述粗段以密封、可滑动的方式套合，并且所述细段和所述粗段内部中空连接形成体积可变的腔体以便液体压入和抽出；所述细段侧部带有侧壁导管；所述侧壁导管连接至所述液压控制系统。3.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述上板设置有位于其内部边缘的三根固定横梁和连接于所述固定横梁之间的一根滑动横梁；三根所述第一施压柱通过滑动装置各自与一根所述固定横梁连接，使得所述第一施压柱可沿其所连接的所述固定横梁的轴向运动；所述第二施压柱通过滑动装置与所述滑动横梁连接，使得所述第二施压柱既能够沿所述滑动横梁的轴向运动，又能够随所述滑动横梁的滑动方向运动。4.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述上板通过多个立柱与所述矫正台固定连接。5.如权利要求4所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述多个立柱分散设置在所述矫正台的边角区域。6.如权利要求1或5所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正面通过所述矫正空间的侧面暴露在外，所述矫正空间的侧面为连接所述矫正台与所述上板的侧面。7.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正台固定于底座上。8.如权利要求2所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一施压柱和所述第二施压柱的所述细段和所述粗段的外形为圆柱形或者四方柱形。9.如权利要求3所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述上板内部边缘还有一根固定横梁，该固定横梁与另外三根所述固定横梁首尾相连形成稳定架构。...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，相原俊夫，大岩一彦，潘杰，王学泽，高建，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：