双单极电容差分位移传感器制造技术

本发明专利技术提供一种双单极电容差分位移传感，具有信号处理电子设备，依次包含上感应件、目标件和下感应件；上、下感应件与信号处理电子设备相连，目标件与信号处理电子设备的地线连接；上、下感应件均包含电容屏蔽体及电容感应体，电容感应体的感应面与目标件表面相对，且对应面形状相匹配，由电容变化测得位移量。本发明专利技术还提供一种由多个双单级电容差分位移传感器组合而成复合型双单极电容差分位移传感器。

【技术实现步骤摘要】
双单极电容差分位移传感器
本专利技术涉及测量使用的位移传感器,特别涉及一种双单极电容差分位移传感器，还涉及一种复合型的双单极电容差分位移传感器。
技术介绍
目前从市场上可购买到的高测量灵敏度的电容位移传感器有两类。一类是如德国PhysikInstrumente(PI)生产的双极电容位移传感器。另一类是如英国Queensgate和德国Micro-Epsilon生产的单极电容位移传感器。“单极电容”的意思是电容的两电极之一与地线相连，无需特定导线。电容的测量来自于那一个非地线极。而“双极电容”，电容的测量来自于两个非地线极。这两个电极都需自己的特定导线。这两类位移传感器都需非常精确的定位安装来达到传感面与传感面(双极电容)之间的，或传感面与测量面(单极电容)之间的，很高的平行度才能得到所指定的测量功能。尽管这些位移传感器本身通过使用昂贵的材料和加工能达到较小的受温度变化的影响，但精确的定位安装后，由于定位装置也受温度变化的影响，整体测量系统很难达到预期效果，除非投入巨大的费用在定位装置的材料和加工上。双极电容位移传感器比单极电容位移传感器测量灵敏度高。两者都需高精密加工制成。因此生产成本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双单极电容差分位移传感器，具有信号处理电子设备，其特征在于：依次包含上感应件、目标件和下感应件；所述上感应件和下感应件与信号处理电子设备相连，所述目标件与信号处理电子设备的地线连接；所述上感应件和下感应件均包含电容屏蔽体及电容感应体，所述电容感应体的感应面与目标件表面相对，所述感应面形状与目标件表面形状相匹配。

【技术特征摘要】
1.一种双单极电容差分位移传感器，具有信号处理电子设备，其特征在于：依次包含上感应件、目标件和下感应件；所述上感应件和下感应件与信号处理电子设备相连，所述目标件与信号处理电子设备的地线连接；所述上感应件和下感应件均包含电容屏蔽体及电容感应体，所述电容感应体的感应面与目标件表面相对，所述感应面形状与目标件表面形状相匹配；其中，所述上感应件和下感应件上设置有通孔；所述目标件通过弹性部件固定设置在上、下感应件之间；所述目标件的两侧设置有推动件，推动件贯穿上感应件和下感应件的通孔。2.如权利要求1所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述电容感应体及电容屏蔽体均为表面绝缘化的金属导体部件；所述电容屏蔽体内具有容置槽，所述电容感应体为薄型片体并通过一薄壁空心连接件设置在电容屏蔽体的容置槽内。3.如权利要求1所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述电容感应体为金属导体部件，所述电容屏蔽体为表面经过导体化的绝缘体部件；所述电容屏蔽体内具有容置槽，所述电容感应体为薄型片体并通过一薄壁空心连接件设置在电容屏蔽体的容置槽内。4.如权利要求1所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述上感应件和下感应件包含绝缘主体，所述电容感应体是设置在绝缘主体上表面的第一金属导体层，该第一金属导体层外周具有由绝缘主体裸露而形成的绝缘圈，所述电容屏蔽体是包覆于主体上除第一金属导体层及绝缘圈之外部分的第二金属导体层。5.如权利要求4所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述感应件是在双层印刷电路板上使用光刻腐蚀方法形成绝缘圈，双层印刷电路板两侧面包覆有金属导体层。6.如权利要求1至5中任一所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述电容感应体感应面及目标件表面的形状为圆形、正方形、长方形或椭圆形。7.如权利要求1所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述弹性部件与目标件一体连接，其为主体平行于目标件外周边缘的弹簧片体。8.如权利要求7所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述弹簧片体的个数至少为三个，均匀布置在目标件的外缘。9.如权利要求8所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述目标件的一面或两面粘结有加强片，所述加强片与目标件形状相同。10.如权利要求9所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述弹簧片体的另一端连接有弹性固定体。11.如权利要求10所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：包含至少两个所述目标件，各目标件连接所述弹性片体，所述弹性片体与弹性固定体连接，各目标件之间通过中间支撑体和周边支撑体分隔，所述中间支撑体和目标件的形状相同，所述周边支撑体与弹性固定体的形状相匹配。12.如权利要求1所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述弹性部件为成对纵向平行设置的悬臂梁弹簧。13.如权利要求7至12中任一所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述目标件与上、下感应件连接设置或独立于上、下感应件而单独固定设置。14.如权利要求1至5中任一所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：还包含有独立于上、下感应件及目标件设置的第二推动件；所述目标件通过弹性部件固定设置在上、下感应件之间，第二推动件施力于目标件使之朝向上感应件或下感应件方向水平移动。15.如权利要求14所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述弹性部件与目标件一体连接，其为主体平行于目标件外周边缘的弹簧片体。16.如权利要求15所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述弹簧片体的个数至少为三个，均匀布置在目标件的外缘。17.如权利要求16所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述目标件的一面或两面粘结有加强片，所述加强片与目标件形状相同。18.如权利要求17所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：所述弹簧片体的另一端连接有弹性固定体。19.如权利要求18所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：包含至少两个所述目标件，各目标件连接所述弹性片体，所述弹性片体与弹性固定体连接，各目标件之间通过中间支撑体和周边支撑体分隔，所述中间支撑体和目标件的形状相同，所述周边支撑体与弹性固定体的形状相匹配。20.如权利要求13所述的双单极电容差分位移传感器，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：林立，
申请(专利权)人：林立，
类型：发明
国别省市：