用于净化净化物的净化装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种用于净化净化物(112)的净化装置(110)。净化装置(110)具有用于容纳净化物(112)的至少一个净化腔(118)。净化装置(110)在净化腔(118)中具有至少一个流体源(128)用于以至少一个净化流体加载净化物(112)。净化装置(110)此外具有至少一个等离子体源(162，164，214，218，246，248，278)，其设立用于在至少一个气体中点燃至少一个等离子体并且产生至少一个反应气体。净化装置(110)设立用于将反应气体带到与净化物(112)的至少一部分相接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于净化净化物(112)的净化装置(110)，其中，所述净化装置(110)具有用于容纳所述净化物(112)的至少一个净化腔(118)，其中，所述净化装置(110)在所述净化腔(118)中具有至少一个流体源(128)用于以至少一个净化流体加载所述净化物(112)，其中，所述净化装置(110)此外具有至少一个等离子体源(162,?164,?214,?218,?246,?248,?278)，其中，所述等离子体源(162,?164,?214,?218,?246,?248,?278)设立用于在至少一个气体中点燃至少一个等离子体并且产生至少一个反应气体，其中，所述净化装置(110)设立用于将所述反应气体带到与所述净化物(112)的至少一部分相接触。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：V施奈德，T内格尔，T波伊克特，HJ劳贝尔，I维甘德，
申请(专利权)人：迈科工程有限责任两合公司，
类型：
国别省市：