【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开，用于测试压电陶瓷快速偏转镜频率响应，考察其动态位移特性。系统由频响分析仪和压电陶瓷控制器组成。首先由频响分析仪输出扫频信号，经压电陶瓷控制器放大后驱动压电陶瓷快速偏转镜偏转，然后频响分析仪检测压电陶瓷快速偏转镜上所贴应变片的电压，最后由频响分析仪通过比较输出的驱动电压和检测到的应变片电压，自动绘出压电陶瓷快速偏转镜的动态频率响应波特图。本系统将输出给压电陶瓷快速偏转镜的电压和应变片电压进行比较，利用频响分析仪得到压电陶瓷快速偏转镜的频率响应特性，结构简单，操作方便。【专利说明】
:本专利技术涉及一种动态频率响应测试系统及方法，具体涉及。
技术介绍
:压电陶瓷快速偏转镜具有响应快、位移分辨率高、输出力大、功耗小、不发热等优点，已广泛用于航空航天、微电子机械、精密加工等领域；在一些动作速度快的场合，要求压电陶瓷快速偏转镜还应有位移响应快、频谱平坦的特点，因此需要测试压电陶瓷偏转镜的动态频率响应。关于压电陶瓷快速偏转镜频率响应的测试方法较少，有些是利用速度传感法、干涉法，测试系统复杂，利用应变片反馈的方法较简单，目前还没有通过应变片反...
【技术保护点】
一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统，它包括：频响分析仪（1）和压电陶瓷控制器（2），其特征在于：所述的频响分析仪（1）是具有扫频功能的频响分析仪；所述的压电陶瓷控制器（2）是芯明天公司生产的XE501?D压电陶瓷控制器。频响分析仪（1）输出与压电陶瓷控制器（2）控制信号输入端相连，压电陶瓷控制器（2）位置传感输出端与频响分析仪（1）输入相连，压电陶瓷控制器（2）高压输出与压电陶瓷快速偏转镜（3）相连，压电陶瓷控制器（2）位置传感输入端与应变片（4）相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贾建军，杨明冬，张亮，钱锋，张明，白帅，王娟娟，梁延鹏，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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