下载一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统及方法的技术资料

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本发明公开一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统及方法,用于测试压电陶瓷快速偏转镜频率响应,考察其动态位移特性。系统由频响分析仪和压电陶瓷控制器组成。首先由频响分析仪输出扫频信号,经压电陶瓷控制器放大后驱动压电陶瓷快速偏转镜偏转,然后频...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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