单光源双波长激光诱导击穿光谱测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种单光源双波长激光诱导击穿光谱测量装置及方法。该装置主要包括脉冲激光器、倍频晶体、分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、光快门、光谱仪、同步延迟控制器；脉冲激光器产生的激光通过倍频晶体后分为基频光和倍频光，照射在分光镜上；倍频光经所述第一全反射镜反射后垂直照射于待测样品的表面；基频光经过所述光快门、然后被所述第二全反射镜反射后平行照射在待测样品表面的上方1-5mm处；待测样品被激发出的等离子体产生的光谱信号会聚至光纤收集头，传送至光谱仪。本发明专利技术在实现双脉冲LIBS高探测灵敏度的同时，还具有结构简单、体积紧凑、价格低廉的优点，可广泛应用于激光诊断和光谱分析技术领域。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种。该装置主要包括脉冲激光器、倍频晶体、分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、光快门、光谱仪、同步延迟控制器；脉冲激光器产生的激光通过倍频晶体后分为基频光和倍频光，照射在分光镜上；倍频光经所述第一全反射镜反射后垂直照射于待测样品的表面；基频光经过所述光快门、然后被所述第二全反射镜反射后平行照射在待测样品表面的上方1-5mm处；待测样品被激发出的等离子体产生的光谱信号会聚至光纤收集头，传送至光谱仪。本专利技术在实现双脉冲LIBS高探测灵敏度的同时，还具有结构简单、体积紧凑、价格低廉的优点，可广泛应用于激光诊断和光谱分析
。【专利说明】
本专利技术属于激光诊断和光谱分析
，具体涉及一种物质元素含量分析的。
技术介绍
激光诱导击穿光谱(Laser-1nducedBreakdown Spectroscopy, LIBS)技术是利用高功率密度激光聚焦在待测样品表面，产生10000K?20000K高温的激光等离子体，通过对等离子体中包含的原子、离子、分子所发射光谱波长的测定分析，确定待测样品中元素的组成。LIBS技术运行成本低、测量速度快，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单光源双波长激光诱导击穿光谱测量装置，其特征在于：包括脉冲激光器、倍频晶体、分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、光快门、待测样品载台、光纤收集头、光谱仪、同步延迟控制器和计算机；所述的脉冲激光器产生的激光通过倍频晶体后分为基频光和倍频光，照射在分光镜上；所述的分光镜对基频光高反射、对倍频光高透射，经过分光镜后，基频光和倍频光被分为两个光路；所述的倍频光经所述第一全反射镜反射后垂直照射于待测样品的表面；所述的基频光经过所述光快门、然后被所述第二全反射镜反射后平行照射在待测样品表面的上方1?5mm处；待测样品被激发出的等离子体产生的光谱信号会聚至光纤收集头，传送至光谱仪；所述的计算机与同步延迟...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李新忠，汤洁，王屹山，赵卫，段忆翔，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：