移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置。移动机构具有：第一移动体，其以相对支承体沿第一方向能够移动的方式配置；第二移动体，其经由第一移动体设置于与支承体相反的一侧，相对第一移动体能够沿与第一方向交叉的第二方向移动；以及第一振动体，其配置于支承体并能够按压移动体地被推压、或者配置于第一移动体并能够按压支承体地被推压，第一槽和上述第二槽对置的方向与支承体和移动体对置的方向交叉，第一振动体被推压的推压方向与第一槽和上述第二槽对置的方向以及支承体和移动体对置的方向交叉。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置。移动机构具有：第一移动体，其以相对支承体沿第一方向能够移动的方式配置；第二移动体，其经由第一移动体设置于与支承体相反的一侧，相对第一移动体能够沿与第一方向交叉的第二方向移动；以及第一振动体，其配置于支承体并能够按压移动体地被推压、或者配置于第一移动体并能够按压支承体地被推压，第一槽和上述第二槽对置的方向与支承体和移动体对置的方向交叉，第一振动体被推压的推压方向与第一槽和上述第二槽对置的方向以及支承体和移动体对置的方向交叉。【专利说明】移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置
本专利技术涉及移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置。
技术介绍
公知有多种搭载了使移动体相对于支承体沿规定方向移动的移动机构的机器。例如，在专利文献I的机器人中，在与移动方向平行地设置的轨道和从两侧夹着轨道供轨道嵌合的轨道座之间插入有多个滚动体(滚珠)，从而形成两列与移动方向平行的滚珠引导件(移动轴)。在这样的移动机构中，若将由驱动马达等产生的驱动传递至移动体，则滚珠在轨道与轨道座之间滚动，从而能够使移动体顺利地移动。另外，公知有使多个移动方向不同的移动体组合的移动机构，例如，如专利文献2所公开的那样，使相对支承体能够沿X轴方向移动的第一移动体与相对第一移动体能够沿Y轴方向移动的第二移动体重叠，从而第二移动体能够在X-Y平面上移动。专利文献1:日本实开平5-16172号公报专利文献2:日本特开平11-271480号公报但是，如专利文献I那样，在利用两列移动轴支承移动体的移动机构中，存在因对移动体施加负载等从而在移动体产生晃动的问题。特别是，在具备了多个移动体的移动机构中，在一个移动体产生的晃动传递至其他的移动体，从而导致移动机构整体产生较大的晃动。
技术实现思路
本专利技术是为了解决现有的技术中存在的上述课题的至少一部分而完成的，其目的在于提供能够抑制在移动体所广生的晃动的移动机构。为了解决上述课题的至少一部分，本专利技术的移动机构采用如下结构，S卩，本专利技术的移动机构的特征在于，具备:支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；第一移动体，其相对上述支承体能够沿第一方向移动；第一振动体,其包含压电材料并能够产生上述第一方向的振动,在被向上述支承体或者上述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；第二移动体，其隔着上述第一移动体设置于与上述支承体相反的一侧，随同上述第一移动体的移动，相对上述第一移动体能够沿与上述第一方向交叉的第二方向移动；第二振动体,其包含压电材料并能够产生上述第二方向的振动,在被向上述第一移动体或者上述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；第一槽，其在上述支承体设置一对，并形成为与上述第一方向平行；第二槽，其在上述第一移动体设置一对，并形成为与上述第一槽相对；多个滚动体，它们设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述第一移动体的移动而滚动；以及移动轴，其包含上述滚动体，并与上述第一方向平行，上述移动轴以在与上述支承体和上述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置两列，上述第一槽和上述第二槽相对的方向与上述支承体和上述第一移动体相对的方向交叉，并且，上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，上述第一振动体被推压的推压方向相对于包含上述两列移动轴的移动面倾斜。此处，所谓“相对于移动面倾斜的方向”不包含与移动面平行的方向、与移动面垂直的方向。在上述的本专利技术的移动机构中，若将第一振动体支承于支承体侧，则第一移动体承受第一振动体的作用力，若将第一振动体支承于第一移动体侧，则第一移动体承受与第一振动体的推压方向相反方向的反作用力。另外，由于第一振动体的推压方向相对于移动面倾斜，所以在第一移动体所承受的作用力或者反作用力中包含有与移动面平行的成分和与移动面垂直的成分。第一移动体承受与移动面平行的力，从而在两列移动轴中的一列移动轴中，第一槽与第二槽之间的间隔在与移动面平行的方向上堵塞，且滚动体被第一槽与第二槽夹持。另外，在另一列移动轴中，虽然第一槽与第二槽之间的间隔较宽广，但是第一移动体承受与移动面垂直的力，从而产生以一列移动轴为旋转轴使第一移动体旋转的力矩，因此滚动体在与移动面垂直的方向上被第一槽与第二槽夹持。其结果，能够抑制第一移动体的晃动。并且，如上，通过配置于靠近支承体的一侧来抑制施加第二移动体的重量而导致的第一移动体的晃动，能够提高移动机构整体的刚性。在上述的本专利技术的移动机构中，在将支承体设置于能够沿规定方向移送移动机构的移送体的情况下，也可以使第一方向与移送体的移送方向不同。移送体移送移动机构，与此相伴，对移动机构作用沿移送体的移送方向的惯性力。若预先使第一方向与移送体的移送方向不同，则很难对第一移动体施加沿移动方向的惯性力，因此即使第二移动体的重量作用于配置于靠近支承体的一侧的第一移动体，也能够抑制由惯性力导致的第一移动体的位置偏移(朝移动方向的滑动)。此外，若预先减少第二移动体的重量，则即使假设第二方向与移送体的移送方向重叠，也能够不对第二移动体作用较大的惯性力，而抑制第二移动体的位置偏移(朝移动方向的滑动)。结果，不需要为了防止由惯性力导致的位置偏移而追加制动器机构等，就能够实现移动机构的小型化。另外，在上述的本专利技术的移动机构中，也可以设置以与第一方向以及第二方向正交的第三方向为轴进行转动的转动体，和产生振动来驱动转动体的第三振动体，使第三振动体产生的振动的方向与移送体的移送方向不同。此外，此处的“正交”不局限于完全的正交，也包含大体正交的含义。如上，若预先使第三振动体的振动方向与移送体的移送方向不同，则即使伴随着移送体的移送而对移动机构作用惯性力，由于第三振动体通过振动来驱动转动体的方向(振动体的驱动力传递至转动体的方向)与惯性方向不重叠，所以也能够抑制由惯性力导致的转动体的位置偏移(朝转动方向的滑动)。另外，在这样的本专利技术的移动机构中，也可以将形成为大致长方体形状的受压体以第一振动体所抵接的面与推压方向成为垂直的姿态埋入支承体或者第一移动体中的任意一方的第一振动体所推压的部分。这样一来，即使第一振动体被支承体或者第一移动体倾斜地推压，也不会因作用力而使受压体偏离(受压体的位置朝与移动面平行的方向移动)，从而能够将振动体的驱动力适当地传递至受压体而使第一移动体相对于支承体高精度地移动。另外，在上述的本专利技术的移动机构中，也可以利用硬度高于支承体或者第一移动体中的埋入有受压体的一侧的材料形成受压体。这样一来，能够利用在第一振动体与受压体之间作用的摩擦力来抑制受压体磨损。其结果，即使长期使用也能够抑制移动体的移动精度降低。另外，本专利技术也能够通过以下的方式充分理解。即，也能够作为电子部件输送装置充分理解，其特征在于，具备:把持部，其对电子部件进行把持；以及移动机构，其使把持了上述电子部件的上述把持部移动，上述移动机构具备:支承体，其设置于规定的位置，并支承移动机构；第一移动体，其相对上述支承体能够沿第一方向移动；第一振动体,其包含压电材料并能够产生上述第一方向的振动,在被向上述支承体或者上述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种移动机构，其特征在于，具备：支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；第一移动体，其相对所述支承体能够沿第一方向移动；第一振动体，其包含压电材料并能够产生所述第一方向的振动，在被向所述支承体或者所述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；第二移动体，其隔着所述第一移动体设置于与所述支承体相反的一侧，随同所述第一移动体的移动，相对所述第一移动体能够沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；第二振动体，其包含压电材料并能够产生所述第二方向的振动，在被向所述第一移动体或者所述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；第一槽，其在所述支承体设置一对，并形成为与所述第一方向平行；第二槽，其在所述第一移动体设置一对，并形成为与所述第一槽相对；多个滚动体，它们设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述第一移动体的移动而滚动；以及移动轴，其包含所述滚动体，并与所述第一方向平行，所述移动轴以在与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置有两列，所述第一槽和所述第二槽相对的方向与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉，并且，所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，所述第一振动体被推压的推压方向相对于包含所述两列移动轴的移动面倾斜。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西村义辉，宫泽修，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：