【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种原位测量固?液相界面电化学反应的TEM样品台,其特征在于:包括堵片(1)、设在该堵片(1)上的多个独立金属电极(2)和液体腔;其中两个独立金属电极(2)上设有异质结发光源(4);所述液体腔垂直于堵片延伸,包括顶部件(5)、底部件(6)和隔层(8);所述顶部件(5)和底部件(6)的外表面通过化学气相法生长有低应力氮化硅膜,使用半导体工艺在生长了低应力氮化硅膜的顶部件(5)上形成两个沿顶部件(5)的厚度方向贯通的空洞(5?1、5?2),所述两个空洞(5?1、5?2)沿垂直于堵片(1)的方向间隔设置;顶部件(5)设置在底部件(6)上,顶部件(5)与底部件(6)的周边结合面之间夹设有隔层(8),从而在空洞(5?1、5?2)之间形成通路(14);还包括盖在所述两个空洞(5?1、5?2)的上方的高透光性的顶盖(11);顶部件(5)、底部件(6)、隔层(8)以及顶盖(11)一起配合,并使用环氧树脂固化剂粘接封装形成液体腔。
【技术特征摘要】
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