【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种双级流体调节器，包括：?调节器主体，其具有通过流体流动通路连接的流体入口和流体出口，所述调节器主体的一部分形成第一腔室和第二腔室；?第一级孔口，其设置在所述流体流动通路中并通向第一级阀座；?第二级孔口，其设置在所述流体流动通路中并通向第二级阀座；?第一级控制部件，其设置在所述流体流动通路中并可在远离所述第一级阀座的打开位置和接合所述第一级阀座的闭合位置之间移动，所述第一级控制部件被设置成根据流体压强变化来控制工艺流通过所述第一级孔口的流动；?第二级控制部件，其设置在所述流体流动通路中并可在远离所述第二级阀座的打开位置和接合所述第二级阀座的闭合位置之间移动；?致动器，其被连接到所述调节器主体，所述致动器可操作地耦接到所述第二级控制部件，并被设置成根据所述流体出口中的流体压强变化来在所述打开位置和所述闭合位置之间移动所述第二级控制部件，以控制所述工艺流通过所述第二级孔口的流动；以及?其中，所述第一级控制部件可操作地耦接到第一隔膜和第二隔膜，所述第一隔膜和所述第二隔膜设置在所述第一腔室和所述第二腔室之间。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：K·A·纳什里，D·J·舍夫勒，
申请(专利权)人：艾默生过程管理调节技术公司，
类型：实用新型
国别省市：
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