【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种改良的硅片收集装置，包括收集槽，其特征为，所述收集槽两壁中各设有一空腔，所述空腔外壁上设有出风装置，内壁均匀设有若干纵向通孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：聂金根，
申请(专利权)人：镇江市港南电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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