静电透镜的电极及其制造方法技术

技术编号:9407295 阅读:104 留言:0更新日期:2013-12-05 06:27
本发明专利技术涉及静电透镜的电极及其制造方法。提供一种用于静电透镜的电极,其中,该电极至少包含:具有第一贯通孔的第一基板和具有第二贯通孔的第二基板;第一基板具有比第二基板小的厚度;第一贯通孔具有比第二贯通孔小的直径,第二基板具有比第一基板小的电阻率,其中,第一基板和第二基板被叠置,使得第一贯通孔和第二贯通孔相互对准。可以减少在干蚀刻处理中在贯通孔中的任一个附近出现的开槽,由此可以精确地形成贯通孔。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种要用于静电透镜的电极,该电极至少包含:具有第一贯通孔的第一基板和具有第二贯通孔的第二基板;第一基板具有比第二基板小的厚度;第一贯通孔具有比第二贯通孔小的直径;第二基板具有比第一基板小的电阻率,其中,第一基板和第二基板被叠置,使得第一贯通孔和第二贯通孔相互对准。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:山田修嗣
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:

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