【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，其特征在于：所述有机废气回收装置包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置，所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽，所述除水器的进口为有机废气入口，所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通，所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接，所述回收槽的底部与排出管连接，所述排出管上安装阀门。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁小朝，黄源，尹云舰，连杰，龚升，
申请(专利权)人：杭州格林达化学有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。