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一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置，所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽，所述除水器的进口为有机废气入口，所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收...
该专利属于杭州格林达化学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州格林达化学有限公司授权不得商用。

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