【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种遮罩存放与基板输送室，该遮罩存放与基板输送室包括：第一空间部，该第一空间部的侧部具有门，基板或遮罩通过所述门进出；第二空间部，该第二空间部连接到所述第一空间部；遮罩存放单元，该遮罩存放单元构成为使得多个遮罩堆叠在该遮罩存放单元中；以及移动单元，该移动单元设置为往复地移动所述遮罩存放单元以选择性地将所述遮罩存放单元置于所述第一空间部或所述第二空间部；其中，当所述遮罩存放单元置于所述第一空间部时，遮罩通过所述门进出，当所述遮罩存放单元置于所述第二空间部时，基板通过所述门进出。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：尹成勋，赵晃新，宋基哲，李在镇，
申请(专利权)人：SNU精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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